Лаборатория нанотехнологии и микроэлектроники

Проведение фундаментальных научных исследований в области нанотехнологий применительно к микроэлектронике и на основе микроэлектроники: поисковые работы, создание актуальных технологических решений для прикладного применения, разработка методов синтеза и анализа наноструктурированных материалов.

Задача лаборатории

Поставка технологического оборудования: установки нано- и 3D литографии, установки совмещения и экспонирования, установка атомно-слоевого осаждения, установка реактивно-ионного травления, установка осаждения диэлектриков, установка плазменной очистки, оборудование для микросварки, напыления, шлифовки, планаризации, очистки, обработки, скрайбирования, резки и монтажа пластин. Приборы для измерения геометрии пластин, установки для тестирования полупроводниковых пластин, рефлектометры, профилометры, зондовые станции, спектрометры, спектрофотометры, скрубберы, инфракрасные паяльные станции, автоматические дозаторы, рентгеновские дифраткометры и другое.

Поставка общелабораторного оборудования: центрифуги, диффузионные печи, вакуумные насосы, оптические микроскопы, растровые электронные микроскопы, источники бесперебойного питания, газовые шкафы, программное обеспечение для съемки и анализа изображений микро- и макроструктуры различных объектов и другое.

Услуги «ТСС»