Лаборатория нанотехнологии и микроэлектроники

Проведение фундаментальных научных исследований в области нанотехнологий применительно к микроэлектронике и на основе микроэлектроники: поисковые работы, создание актуальных технологических решений для прикладного применения, разработка методов синтеза и анализа наноструктурированных материалов.

Поставка технологического оборудования:
Установки нано- и 3D литографии
Установки совмещения и экспонирования
Установка атомно-слоевого осаждения
Установка реактивно-ионного травления
Установка осаждения диэлектриков
Установка плазменной очистки
Оборудование для микросварки, напыления, шлифовки, планаризации, очистки, обработки, скрайбирования, резки и монтажа пластин
Приборы для измерения геометрии пластин
Установки для тестирования полупроводниковых пластин
Рефлектометры
Профилометры
Зондовые станции
Спектрометры, спектрофотометры
Скрубберы
Инфракрасные паяльные станции
Автоматические дозаторы
Рентгеновские дифраткометры

Поставка общелабораторного оборудования
Центрифуги
Диффузионные печи
Вакуумные насосы
Оптические микроскопы
Растровые электронные микроскопы
Источники бесперебойного питания
Газовые шкафы
Программное обеспечение для съемки и анализа изображений микро- и макроструктуры различных объектов